NB°奈米氣泡應用NANO BUBBLE SOLUTIONS

NB / INDUSTRIAL APPLICATION

半導體設備與模組清洗

狹窄流道、腔體零件與殘留清除。

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先看現場問題

先釐清污染物、接液材質與可拆卸位置,優先安排離線試驗。

如何判斷是否值得導入

使用前後採相同條件比較,保留未導入的基準或對照組;測試結果須能重現,才進一步討論擴大配置。

應記錄哪些指標

粒子數與分布、表面殘留、清洗時間、流量與壓損。

先準備的資料

介質與濃度、溫度、管徑、入口與出口動態壓力、需求流量,以及希望改善的問題。

工業試驗配置概念
槽體/供液
泵浦與過濾
NB 測試段
設備/回流

概念圖,非施工圖;實際管路、閥件、採樣與安全聯鎖須依設備設計。

常見問題

能直接保證改善效果嗎?

先以現場介質和條件做對照試驗,再依量測結果評估。不能用單一元件名稱推論製程效果。

需要 PTFE 材質怎麼選?

提出介質、溫度、流量與潔淨要求後,由專人說明可供版本、接液材質與適用條件。

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